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三甲硅烷基胺 (TSA)
中文名:三甲硅烷基胺
英文名:Trisilylamine
CAS號:13862-16-3
用途:通過流動化學氣相沉積(FCVD)形成氧化硅
純度指標:99.65%
規格:公斤級
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二異丙氨基硅烷 (DIPAS)
中文名: 二異丙氨基硅烷
英文名:Diisopropylaminosilane
CAS號:908831-34-5
用途:形成晶種
純度指標:8N
規格:公斤級
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四氯化鈦 (Ticl?)
中文名:四氯化鈦
英文名:Titanium tetrachloride
CAS號:7550-45-0
熔點:-25℃
沸點:135 - 136 °C
蒸氣壓:12.8 hPa 在 20 °C
產品等級:6N
規格:15kg
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四乙氧基硅烷 (TEOS)
中文名:四乙氧基硅烷
英文名:Tetraethoxysilane
CAS號:1978-10-4
熔點:-82.49℃
沸點:168°C
蒸氣壓:10.0 hPa 在 20℃
產品等級:9N
規格:17.7kg、35kg、200kg
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雙(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
中文名: 雙(二乙氨基)硅烷
英文名:Bis(diethylamino)silane
CAS號:27804-64-4
熔點:<-10℃
沸點:188℃
產品等級:5N
規格:10kg
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六氯乙硅烷(HCDS)
中文名:六氯乙硅烷
英文名:Hexachlorodisilane
CAS號:13465-77-5
沸點:144 - 145.5℃
產品等級:6N
規格:13kg
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八甲基環四硅氧烷 (OMCTS)
中文名:八甲基環四硅氧烷
英文名:Octamethyl cyclotetrasiloxane
CAS號:556-67-2
熔點:17-19℃
沸點:175-176℃
蒸氣壓:1 mmHg (21.7℃)
產品等級:7N5
規格:10kg、18kg、200kg
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四甲基硅烷 (4MS)
中文名:四甲基硅烷
英文名:Tetramethylsilane
CAS號:75-76-3
熔點:-99℃
沸點:26-28℃
產品等級:7N5
規格:10kg、20kg、110kg、125kg
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